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      產品名稱

      研磨拋光液

      S-M802使用球形納米顆粒,可加速切除和優化拋光質量

      可實現超精密無損傷表面加工,滿足集成電路特征尺寸在0.35μm以下的全局平坦化要求。
      產品型號
      S-M802
      產品分類
      適用制程
      晶片形成的最后一道工序是化學機械拋光 ,S-M802作用:是為了后面的光刻工藝,為其提供具有高度平坦化、高度潔凈表面的晶片。
      應用說明
      本拋光液既適用于震動(研磨)光飾機、滾動(研磨)光飾機和渦流式(研磨)光飾機,同時也可在離心(研磨)光飾機等其它(研磨)光飾機中使用。
      包裝規格
      20kg/桶
      數量
      -
      +
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